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In Seite Diadur-Verfahren:
"Das Diadur-Verfahren dient zur Herstellung äußerst widerstandsfähiger Präzisionsteilungen (für Längen- und Winkelmessgeräte) auf verschiedenen Oberflächen. Bevorzugt für diesen Verwendungszweck dient Glas als Träger der strukturierten Beschichtung. Eine DIADUR-Beschichtung mit wohldefiniertem Strichgitter heißt Teilung. Sie kann eine Serie von äquidistanten Strichen (analog zu einem Lineal) sein, einen Siemensstern zur Winkelmessung oder ein beliebiges anderes Muster mit der Eignung, Positionen sehr genau unterscheiden zu können, darstellen. Die Strichabstände bestimmen die erreichbare Auflösung. Die Striche müssen sich vom Träger in einer Weise abheben, die einem photoelektrischen Abtastverfahren erlaubt, sie zu zählen und daraus die Position der Ablesevorrichtung bezüglich einer Referenzposition auf dem Maßstab zu ermitteln. Das DIADUR-Verfahren löst diese Aufgabe. Es ist eine Weiterentwicklung des älteren METALLUR-Verfahrens. Beide Verfahren nutzen die Prinzipien der Lithografie bzw. werden als photolithografische Prozesse realisiert.[1]
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