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En la página Nanolitografía:

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  • Litografía de escaneo por sonda (Scanning Probe Lithographies o SPL) parece ser una prometedora herramienta para la producción de patrones en la escala de los nanómetros[cita requerida]. Por ejemplo, los átomos individuales se pueden manipular usando la punta de un microscopio de efecto túnel (Scanning Tunneling Microscope o STM). La nanolitografía de descenso de sonda es la primera tecnología comercial de tipo SPL disponible basada en el microscopio de fuerza atómica.